CVD鑽石薄膜材料,，中國人搞的

jamesliu8029

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# D; {8 V1 T5 g5 f; I( q' ]7 j& K- p0 W9 F4 t2 u6 Q4 G4 i- y* K' S) r/ e- l5 }: K! `7 Q' e/ z$ o, k' D" t% W2 V: V$ Q4 T8 Q' W1 c' Y" c0 k Y: Y) q) D0 ~9 H( S7 |% Y! V2 y% J( j. {' s, L9 w/ @4 |, a7 C4 S2 x0 p/ R4 x) e% ]+ M1 m. w9 R/ u+ v* i# G) `& t/ _" t+ O* m: D4 W. C3 H5 b, j) v! @- e; w2 B+ d8 Z0 {! O! j5 O2 [

1 e6 ^. M% a! m/ y- {, u8 l4 @ X - 光分析 ( XRD ) – shimadzu XRD-6000 ( 40kv，30mA,，step 0.02 deg.,，speed 4 deg. / min.fficeffice" />  or 1 deg. / min.)
◎晶體結(jié)構(gòu)	Cubic
◎空間群	0 B# R3 f0 Z9 z7 H6 n   Fd–ffice:smarttags" />3m
◎晶格參數(shù)(R.T)	" ]& k+ q5 b- k- ~ ^& {   (A) 3.570
& y C6 J4 }& x( o% S   ◎密度(g/cm3)	3.508
◎晶面(111)	202
& _# t4 A" H4 n; S, z 粗糙度分析 ( SPM ) - Thermo Microscopes CP Research  ( 50 μm * 50 μm )
◎中心線平均粗糙面Ra ( Ave. Rough )		總面積 / 底長86.39 nm霧面，1.052 nm亮面,。
◎中心線均方根粗糙面Rq ( Rms Rough )		" {7 F6 y% d9 B" T2 C, S5 F" Q 104.8 nm霧面,，1.321 nm亮面。
◎Rp 250.4 nm霧面,，2.592 nm亮面,，Rv 189.1 nm霧面，6.156 nm亮面,。
7 o% a- w8 u# r6 Z- F9 K6 M' c* I ◎高低差異值為 8 nm 亮面,。

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& B" e: ]8 o) K _- ]2 Z

 

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圖片:

顆粒顯微分析一

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 http://images13.51.com/10/a/50/c6/jamesliu8029/c75c1677bcef434a879d7d44eeaad6f9.jpg

" ^) Q4 P" V1 Q

顆粒顯微分析二

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http://images13.51.com/8/a/50/c6/jamesliu8029/002cc1a954517aaa99a89fa79f5630f6.jpg

8 m& D1 I! B0 L6 o! b

顆粒顯微分析三

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http://images13.51.com/10/a/50/c6/jamesliu8029/77da81c0c62a779263590857a6c9a566.jpg

顆粒顯微分析四

http://images13.51.com/10/a/50/c6/jamesliu8029/f04619a8a3620c771d15dd9e2cde7c39.jpg

N7 n: N5 G8 g5 Y0 A

顆粒顯微分析五

http://images13.51.com/1/a/50/c6/jamesliu8029/9c35afd2e5743f30280c0bdcde90541c.jpg

. Y7 l! h* [3 h

顆粒顯微分析六

http://images13.51.com/9/a/50/c6/jamesliu8029/45e49448cff9f6edffdd3dfc5fa04ad9.jpg

顆粒顯微分析七

http://images13.51.com/1/a/50/c6/jamesliu8029/aa0eb2392c3d8a47d29f8e3bb9cebd42.jpg

 

      

jamesliu8029

補充:
這是完全由中國人研發(fā)並拋光完成的CVD鑽石薄膜材料
日本人做到2吋!!中國人做到4吋
圖一是鑽石膜晶片拋光品質(zhì)
/ e) N# g) J) z$ o8 p圖二是拋光與未拋光之比較
8 a2 j5 F8 D5 s- `3 X/ s- p+ o圖三至圖七是電子顯微鏡照片

深南大道

呵呵，希望中國的各行各業(yè)都能像這樣超過日本人~~~~

jamesliu8029

為啥沒人頂??不懂材料特性??
+ B' n: F4 V: |/ J: J/ {我再補充一下!!!
鑽石的硬度在100GPA密度3.2g/cm3以上,，熱傳導率1300~2100W/mK(銅397),，比熱1.81J/cm3K(銅3.4)，熱擴散率7.2~11.6cm2/s(銅1.16)
# C- d$ L! z' l9 H其散熱及不沾粘性是世界公認
在電子應(yīng)用LED上可替代藍寶石基材,可作IC等散熱片
/ a+ d% p/ Z0 }: h  m2 g1 S5 w4 p在機械行業(yè)可用精密模具(如鏡片),、耐磨材料
" P8 @/ n) w" r2 j我的QQ是473137404
歡迎大家一起討論

lwm789

不懂不懂,，請教：這種鉆石薄膜是柔性的嗎？可以做密封件嗎,？可以成型嗎,？是否有買？價格是否很貴,？謝謝,。

jamesliu8029

原帖由 滴水天 發(fā)表 不懂不懂，請教：這種鉆石薄膜是柔性的嗎,？可以做密封件嗎,？可以成型嗎？是否有買,？價格是否很貴,？謝謝。

這是平面剛性材料,因需拋光,才能達到1.052奈米的粗糙度,用於耐磨導靠零件,耐酸鹼，可替代所有超硬材料,，現(xiàn)規(guī)格是四吋

可惜不是柔性的!!如有興趣研究者,可與我連系  

) ]. y ~. |& E2 y" D& L

QQ: 473137404

海山

想了解下：使用什么設(shè)備（哪國的）來制造的,？

jamesliu8029

中國人自行開發(fā)的CVD設(shè)備

cmx

只知VCD，CVD,？液晶面板,。。,。,？

jamesliu8029

fficeffice" />化學氣相沉積技術(shù)(Chemical Vapor Deposition縮寫 CVD)

. P/ r8 ~, o R: Z0 l

ffice:word" />化學氣相沉積是製造微電子元件時，被用來沉積出特定薄膜(film)的技術(shù),，所沉積出的薄膜可以是介電(dielectrics),、導體、或半導體,。

7 H2 n0 P/ g) b p- [

 

 

 

物理氣相沉積技術(shù)(Physical Vapor Deposition縮寫 PVD)

, P- P' R3 Z2 j# H9 t' `) R) D+ L

物理氣相沉積應(yīng)用方式與化學氣相沉積相似,，主要有三種製程：蒸鍍（Evaporation Deposition）、離子鍍（Ion Plating）,、濺鍍（Sputtering Deposition）及衍生性濺鍍,。