|
因使用MEMS技術(shù)的三維LIDAR而為人所知的日本信號(hào)公司開始涉足力覺傳感器領(lǐng)域,,發(fā)布了基于MEMS技術(shù)的“超小型6軸力覺傳感器”,其中運(yùn)用了該公司研發(fā)的電磁驅(qū)動(dòng)式MEMS光掃描儀“ECO SCAN”的技術(shù)經(jīng)驗(yàn),,主要用于機(jī)器人和計(jì)測(cè)儀器領(lǐng)域,。
& b8 o3 c5 F$ ~% O6 m6 B$ u 因使用MEMS技術(shù)的三維LIDAR而為人所知的日本信號(hào)公司開始涉足力覺傳感器領(lǐng)域,發(fā)布了基于MEMS技術(shù)的“超小型6軸力覺傳感器”,,其中運(yùn)用了該公司研發(fā)的電磁驅(qū)動(dòng)式MEMS光掃描儀“ECO SCAN”的技術(shù)經(jīng)驗(yàn),,主要用于機(jī)器人和計(jì)測(cè)儀器領(lǐng)域,。
: b/ b% c8 Q. S) A a. I* p" T! r6 ?- `! u3 [
超小型6軸力覺傳感器利用半導(dǎo)體的壓電電阻效應(yīng)來(lái)檢測(cè)應(yīng)力。該傳感器的外形尺寸為直徑10.6mm,、厚14.5mm,,直徑只有1日元硬幣的一半。額定負(fù)荷方面,,沿X,、Y、Z三個(gè)軸方向各為±30N,,沿各軸旋轉(zhuǎn)方向?yàn)椤?0Ncm,。反復(fù)精度在3%以下。檢測(cè)靈敏度方面,,軸方向?yàn)?.1~0.2mV/N,X,、Y軸旋轉(zhuǎn)方向?yàn)?.2~0.6mV/Ncm,,Z軸旋轉(zhuǎn)方向?yàn)?.2~0.3mV/Ncm,。* y& Y+ r( B! C! ?# N# ~
J' s/ a5 x5 v, S: y+ B( c6 }/ e& C6 z1 ~/ X1 w7 h+ N, `
' g' W) _% ~, J& {6 E! y
另外,,日本信號(hào)還將廣泛探索該傳感器在機(jī)器人及計(jì)測(cè)儀器以外領(lǐng)域的用途,,例如,,利用該傳感器實(shí)現(xiàn)醫(yī)生觸診的自動(dòng)化,。
. O5 V, \$ d, O) ~* l2 E, ?; k e* Z( V# A+ m
該公司不久之后將開始提供該超小型6軸力覺傳感器的樣品,,還將在12月2日于東京有明國(guó)際會(huì)展中心開幕的“2015國(guó)際機(jī)器人展”上展出,。
+ o% N, o8 u% e
4 Z% A* }% V. b! C3 l; G4 [/ r/ E
9 ~/ l& k" ?# `, b
6 `5 z4 w; b0 u
; V& d+ T- h7 l+ B' q5 C |
|