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超快激光在玻璃加工上的應(yīng)用

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發(fā)表于 2015-12-18 20:22:42 | 只看該作者 回帖獎(jiǎng)勵(lì) |倒序?yàn)g覽 |閱讀模式
玻璃是一種透明的類固體材料,,在人們?nèi)粘I钪袘?yīng)用廣泛,。玻璃的應(yīng)用范圍在不斷擴(kuò)大,,尤其是和其他材料相結(jié)合能更多地應(yīng)用于高科技領(lǐng)域,。玻璃由碳酸鈉,、石灰石和沙子等常見(jiàn)的材料制成,。這些材料在高溫條件下(約1500℃)溶化,,就像液體一樣,,可以被灌注、吹制,、壓制和模塑成各種形狀,。但在室溫下,玻璃就成為固體,,冷卻后由于機(jī)械性能的改變會(huì)變得難以加工處理,。0 L, \3 U* R( j4 ^
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玻璃具有其他材料所不具備的獨(dú)特性能,。它擁有極好的光學(xué)性能,能反射,、彎曲,、透射和吸收光線,在整個(gè)可視范圍內(nèi)甚至更遠(yuǎn),,都具有較高的透明度,。從化學(xué)性能來(lái)說(shuō),玻璃是一種抗腐蝕的惰性材料,,可以作為很多化學(xué)品的容器,。從熱力和電力方面來(lái)看,玻璃是一種絕佳的絕緣體,。從物理性能來(lái)看,,玻璃表面堅(jiān)硬,防刮耐磨,,近年來(lái)通過(guò)各種方法,,玻璃甚至具備了彈性。但是,,也正是這些性能使得玻璃加工面臨著更大挑戰(zhàn),,例如一旦玻璃具備極好的抗拉強(qiáng)度,就變得易碎,。5 A! G- S0 c) u  _' a
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因此,,處理玻璃的方法和其應(yīng)用都需要從長(zhǎng)計(jì)議。玻璃制造可以追溯到公元前3500年左右,。人工制造玻璃大概首先出現(xiàn)在美索不達(dá)米亞和埃及,,首先被用來(lái)制作珠寶,隨后被用來(lái)制作壺,。之后,,加工工藝不斷改進(jìn),從手工加工演變?yōu)楝F(xiàn)今的高科技工業(yè)工藝,,出現(xiàn)了眾多玻璃類別和應(yīng)用,。盡管玻璃制造歷史悠久,但近幾十年來(lái)由于玻璃的易碎性能,,對(duì)于玻璃成品進(jìn)行加工的工藝止步不前,。' l7 S# f6 P' E/ I6 |, h/ ~2 r4 R
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通常一個(gè)小裂紋就會(huì)造成玻璃破碎。一旦微裂紋在玻璃的某個(gè)部位形成,,它就會(huì)蔓延至玻璃邊緣,造成破裂,。玻璃的這種易碎屬性使其難以加工,。另外一方面,,不斷發(fā)展的技術(shù)使其可制成結(jié)構(gòu)更小,且形狀各異的玻璃來(lái)應(yīng)用于不同領(lǐng)域,。傳統(tǒng)的精確方法,,如光刻和電子束光刻等來(lái)加工玻璃,但這些技術(shù)過(guò)于昂貴,,不易操作,,特別是大面積使用。現(xiàn)今,,激光技術(shù)提供了加工玻璃的最精確方法,。最直截了當(dāng)?shù)姆椒ň褪窃诓ㄩL(zhǎng)范圍內(nèi)利用單光子吸收,玻璃在紅外線或紫外線下不會(huì)高度透明,。
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* Z$ n2 f1 U( g" h* ]  }2 k但是,,直接吸收會(huì)產(chǎn)生一些問(wèn)題,包括不良熱影響以及形成熱影響區(qū),,這會(huì)產(chǎn)生微裂紋,,嚴(yán)重危害玻璃的機(jī)械穩(wěn)定性。此外,,在玻璃表面下方進(jìn)行加工,,制造三維結(jié)構(gòu),需要使用高透明度波長(zhǎng),。雖然納秒脈沖激光器可以用于在玻璃中制造次表層結(jié)構(gòu),,玻璃的物理機(jī)制會(huì)對(duì)微處理的精細(xì)程度造成限制,也會(huì)產(chǎn)生微裂紋,。
: N8 U: {* b/ J; r" `3 t. B近年來(lái),,一種激動(dòng)人心的替代性工藝已投入工業(yè)應(yīng)用,即使用超快激光器在近紅外波長(zhǎng)范圍內(nèi)產(chǎn)生次皮秒脈沖,。在這一方法中,,超短脈沖緊密聚焦于玻璃的大部分或表面,每平方厘米的功率密度超過(guò)數(shù)太瓦,,引發(fā)復(fù)雜多樣的工藝,,如同時(shí)多光子吸收、雪崩和碰撞電離,,造成對(duì)玻璃基質(zhì)高度局域化的破壞,,同時(shí)幾乎不存在能量沉積(只有幾微焦甚至更少)。由于每次脈沖所用能量極其適度,,對(duì)該部位(甚至是聚焦體積)造成的熱影響可以忽略不計(jì),。這一方法通常被稱為“冷消融”,可以用來(lái)制造極為精確的3D結(jié)構(gòu)。和其他微制造技術(shù)相比,,飛秒激光微制造透明材料具有獨(dú)特優(yōu)勢(shì),。
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